Pour une mesure de position, d'angle ou autre de haute précision mesure de distance conviennent Interféromètre excellents car, basés sur la superposition d'ondes, ils répondent aux exigences d'une extrême précision, par exemple dans la technique de mesure de production, recherche ou les voyages dans l'espace. Dans cet article, nous allons vous présenter quelques Nouveaux produits de différents fabricants et vous donneront quelques connaissances de base.

Contenu

• Interféromètre 2024 – Les choses les plus importantes en bref
  • Interféromètre pour la mesure de haute précision de l'épaisseur des plaquettes
  • Interféromètre pour la mesure simultanée de la longueur et de l'angle
  • Interféromètre avec une précision sans précédent
• Foire aux Questions

Interféromètre 2024 – Les choses les plus importantes en bref

Les interféromètres modernes utilisent des Technologies laser avec des lasers stables, variables ou femtoseconde. Les algorithmes d’analyse des données sont également constamment développés. La transformée de Fourier peut être utilisée pour convertir des modèles d'interférence en un domaine fréquentiel, ce qui facilite l'analyse et l'interprétation des données. Apprentissage automatique et KI sont utilisés pour reconnaître des modèles dans les données et faire des prédictions sur le comportement ou les propriétés des matériaux.

In der recherche Les interféromètres mesurent les distances moléculaires et atomiques, fournissant ainsi des informations cruciales pour la science des matériaux, la biologie et la chimie. En astronomie, les interféromètres sont utilisés pour mesurer les distances et les mouvements des étoiles et des galaxies avec une grande précision. En nanotechnologie, les appareils de mesure de précision mesurent les déformations et les dimensions à l'échelle nanométrique, ce qui est important pour le développement de nanomatériaux et de dispositifs.

Les interféromètres peuvent ainsi mesurer avec une extrême précision les distances, les déformations des matériaux et les propriétés optiques et établir ainsi de nouvelles normes en matière de technologie de mesure.

Interféromètre pour la mesure de haute précision de l'épaisseur des plaquettes

19.01.2024/XNUMX/XNUMX | Une étape importante du processus de production de tranches semi-conductrices est le rodage des ébauches de silicium, qui sont amenées à une épaisseur uniforme. Pour un contrôle continu de l’épaisseur Micro-Epsilon a développé l'interféromètre à lumière blanche IMS5420-TH. Elle ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure industrielle de l’épaisseur des plaquettes de silicium monocristallin.

Grâce au haut débit Diode superluminescente (SLED), l'IMS5420-TH peut être utilisé pour les tranches SI non dopées, dopées et hautement dopées. La plage de mesure d'épaisseur est de 0,05 à 1,05 mm. L'épaisseur mesurable des entrefers peut même atteindre 4 mm.

Les interféromètres sont chacun constitués d'un boîtier compact Capteur et , qui est livré dans une qualité industrielle robuste Logement est hébergé. Un contrôle actif de la température est intégré au contrôleur, ce qui garantit une grande stabilité de la mesure.

L'interféromètre est disponible en épaisseur ou en Jauge d'épaisseur multipic. Le système de mesure d'épaisseur multipic mesure une épaisseur allant jusqu'à cinq couches, telle que l'épaisseur de la plaquette, l'entrefer, la feuille et les revêtements > 50 µm. Pour la mesure d'épaisseur dans des conditions environnementales difficiles, le contrôleur IMS5420 est équipé d'un indice IP67 et d'un boîtier en acier inoxydable - des guides de lumière et des capteurs adaptés sont disponibles.

Interféromètre pour la mesure simultanée de la longueur et de l'angle

01.04.2020 avril 5000 | Lorsqu'il s'agit de mesures simultanées de trajectoire et d'angle de haute précision dans l'industrie et la recherche, une configuration rapide et un réglage simple sont particulièrement importants. L'interféromètre laser à trois faisceaux SP XNUMX TR (photo ci-dessus) de sios sont des appareils de mesure de longueur de précision qui combinent trois interféromètres en un seul appareil. La même fréquence laser hautement stable est utilisée dans les trois canaux de mesure. Trois valeurs de longueur sont enregistrées simultanément avec une précision nanométrique. L'angle correspondant peut être déterminé avec une grande précision à partir de la différence entre deux valeurs de longueur et la distance du faisceau calibré.

L'interféromètre modulaire à trois faisceaux peut ainsi être adapté à une grande variété de tâches de mesure. La plage de mesure de distance est supérieure à 5 m avec un Résolution sous-nanométrique. Mesures d'angles sont possibles jusqu'à ±12,5° avec un réflecteur. Le couplage par fibre optique de la tête du capteur et la détection de direction du faisceau intégrée en option facilitent la manipulation et le réglage.

La nouvelle conception de l'interféromètre est compacte et robuste. Cela le rend adapté aux mesures de haute précision dans l'industrie et la recherche ainsi qu'en tant qu'appareil OEM. Pour les grandes plages de mesure ou les tâches d'étalonnage, le fabricant recommande d'utiliser des capteurs de température sans fil ou la station de mesure climatique LCS.

Interféromètre avec une précision sans précédent

26.03.2020 mars XNUMX | L'interférométrie est le premier choix méthode de mesure optiquelorsqu'il s'agit de mesurer des surfaces avec une grande précision. Nortus Optronique présente désormais le nouvel interféromètre D7 de Difrotec avec, selon ses propres informations, une précision sans précédent. La différence entre la forme mesurée et la forme réelle est inférieure à lambda/1000 (< 0,6 nm). 

Avec l'interféromètre D7, nous présentons un système qui représente une étape innovante dans le domaine interférométrique mesures représente. Il offre ainsi une précision qui établit des normes dans le domaine de l'interférométrie, l'interféromètre compact et convivial.

Interféromètre en tant que soi-disant Système PSPDI (Interféromètre de diffraction de point de chemin commun à changement de phase) : Alors que les interféromètres Fizeau habituels nécessitent une référence optique, le D7 produit lui-même une référence parfaite - un front d'onde diffracté créé par une ouverture inférieure à la longueur d'onde dans un mince film métallique. La technologie est brevetée en Europe et aux États-Unis.

Le D7 est utilisé pour tester des optiques de haute précision avec des formes complexes et de grandes déviations asphériques. Le Logiciel difrométrique est fourni avec le système. En raison de la large gamme de fonctions, le logiciel offre une analyse parfaite des résultats de mesure.

Foire aux Questions

A quoi sert un interféromètre ?

Un interféromètre est un instrument de mesure précis, qui utilise le modèle d'interférence des ondes, généralement des ondes lumineuses, pour mesurer de très petites distances, des changements de longueur ou des variations d'indice de réfraction.

Quels sont les interféromètres ?

Il existe différents interféromètres dotés de propriétés spécifiques pour différentes tâches de mesure :

1. Michelson-L'interféromètre mesure le déphasage entre deux faisceaux lumineux. Les interféromètres de Michelson sont couramment utilisés en spectroscopie optique et en astronomie.
2. Mach Zehnder-L'interféromètre permet de mesurer les changements de l'indice de réfraction et est souvent utilisé dans les télécommunications et les mesures environnementales.
3. Fabry-Pérot-L'interféromètre utilise de multiples interférences entre deux miroirs parallèles et est utilisé en spectroscopie pour mesurer les longueurs d'onde.
4. Fizeau-L'interféromètre mesure les distances et la rugosité de surface, souvent utilisé en science des matériaux et pour tester les composants optiques.
5. Sagnac-L'interféromètre est utilisé pour mesurer la rotation et en fibre optique.
6. Vert Twyman-L'interféromètre est une variante de l'interféromètre de Michelson, spécifiquement destiné aux tests de systèmes optiques.

Comment fonctionne un interféromètre laser ?

un Interféromètre laser agit comme un séparateur de faisceau. Il divise un faisceau laser en deux parties qui parcourent des chemins différents puis fusionnent à nouveau. Ces rayons se chevauchent et créent un motif d’interférence provenant de la nature ondulatoire de la lumière. Si l'un des chemins change, par ex. B. en raison d'un mouvement ou d'un changement de l'indice de réfraction, la figure d'interférence se déplace. En analysant ce changement de modèle, ces appareils peuvent effectuer des mesures précises des variables mesurées telles que la distance, le mouvement ou les propriétés optiques.

Comment fonctionne l'interférométrie ?

L'interférométrie est une technique de mesure basée sur le principe de l'interférence des ondes, typiquement des ondes lumineuses. En interférométrie, une onde est divisée en deux ou plusieurs parties qui parcourent des chemins différents et sont ensuite réunies à nouveau. Lorsque ces ondes se rejoignent, elles se chevauchent et forment un motif d’interférence de rayures ou d’anneaux clairs et foncés. Ce modèle change en fonction des différences de trajet entre les ondes causées par des changements de longueur, de mouvement ou des différences d'indice de réfraction. En analysant ces changements de configuration, on peut effectuer des mesures extrêmement précises des distances, des changements de longueur, des topographies de surface et des propriétés optiques.

Où ont lieu les interférences ?

L'interférence se produit lorsque deux ondes ou plus, telles que des ondes lumineuses, sonores ou aquatiques, se rencontrent et se chevauchent. Cela se produit dans divers environnements et situations, par exemple :

• In der Optique: Dans la superposition d'ondes lumineuses dans les interféromètres, en couches minces (comme des films d'huile sur l'eau), dans les bulles de savon et dans la diffraction de la lumière sur des réseaux ou des fentes.
• In der acoustique: Lorsque des ondes sonores se superposent, ce qui peut être observé dans des pièces avec échos ou à proximité d'enceintes.
• In der Nature: Lorsque les vagues d'eau se superposent dans des plans d'eau tels que des lacs ou des océans.

L'interférence se produit lorsque les crêtes et les creux des ondes superposées se rejoignent de telle manière qu'ils se renforcent mutuellement (interférence constructive) ou s'affaiblissent (interférence destructrice). Les modèles d'interférence qui en résultent fournissent des informations importantes sur les propriétés des ondes et des milieux à travers lesquels elles se propagent.

Source : Cet article est basé sur les informations des sociétés suivantes : Micro-Epsilon, Nortus-Optronic, Sios.

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